von Christoph Hammerschmidt EETimes Germany September 22, 2004 (5:11 p.m. GMT) KAHL ? Singulus Technologies will sich ein zweites Standbein als Halbleiterausrüster zulegen. Das Unternehmen, das bisher vor allem Beschichtungsanlagen für optische Datenträger produziert, entwickelt jetzt Spezialmaschinen für die Herstellung von MRAM-Speichern. Die Anlage steht kurz vor der Serienreife. Von der nichtflüchtigen MRAM-Speichertechnologie verspricht sich die Industrie einen boomenden Markt. Doch diese Speichertechnik erfordert besonders ausgeklügelte Prozesse bei der Herstellung. "Für die MRAM-Herstellung ist eine spezielle Multilayer-Beschichtung mit extrem dünnen Schichten bis herunter auf 5 Angström erforderlich", erklärt Wolfram Maass, Senior Manager Semiconductor Equipment bei Singulus.
Dabei genügt es nicht, nur einfach die feinen Schichten nacheinander aufzubringen; bei dem extrem kritischen Prozess ist auch noch ein sehr enger zeitlichen Fahrplan einzuhalten. Um Anlagen zu bauen, die diese Anforderungen erfüllen, bedürfe es einer großen Erfahrung ? und die habe Singulus vorzuweisen, beteuert Maass.
Vor bereits einem Jahr hat Singulus auf der Fachmesse Semicon West einen Prototypen einer entsprechenden PVD-Anlage vorgeführt. In der Zwischenzeit hat das Unternehmen die Anlage mit dem Produktnamen 'Timaris' verfeinert und weiter entwickelt. Jetzt ist das Singulus-Team in der Lage, mit einem weiteren Timaris-Prototypen im hauseigenen Labor Demo-Beschichtungen für Kunden vorzunehmen. Die Serienfertigung der Maschine könnte demnächst anlaufen.
Das Unternehmen stößt damit in eine Marktlücke vor. "Keiner der großen Anbieter wie Applied Materials oder Tokyo Electron hat eine solche Anlage im Programm", freut sich der Singulus-Manager. Ein direkter Wettbewerb mit etablierten Anbietern in dem eng besetzten Markt für Halbleiterausrüstungen wäre für den Neuling wenig Erfolg versprechend, daher habe man sich eine Nische gesucht - und mit der MRAM-Beschichtung gefunden. "Wir haben einige sehr viel versprechende Kundenkontakte", gibt sich Maass zuversichtlich.
Die Singulus-Anlage zeiche sich durch eine besonders gute Gleichförmigkeit bei der Bildung der Schichten aus, erklärt Maass. War der erste Prototyp noch für die Bearbeitung von 200-mm-Wafern konzipiert, so ist die aktuelle Anlage bereits für 300-mm-Wafer geeignet. Jetzt steuert man bei Singulus eine erste Kundeninstallation an, um vor Ort die Praxistauglichkeit unter Beweis zu stellen.
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