Presseinformation Nr. 03/99 der TePla AG vom 25.10.99
Philips Semiconductors macht das Dutzend voll
Philips Semiconductors, einer der führenden Hersteller integrierter Schaltkreise weltweit, hat der TePla AG einen weiteren Folgeauftrag erteilt. Damit kommen inzwischen 12 Plasmasysteme von TePla an verschiedenen europäischen Standorten von Philips Semiconductors zum Einsatz.
TePla festigt Position in der Halbleiterindustrie
"Der Auftrag festigt unsere Beziehungen zu einem Schlüsselkunden in der Halbleiterindustrie", sagt Friedrich G. Meyer, Vorstand der TePla AG. "Philips Semiconductors entscheidet sich mit der TePla für einen Technologieführer im Bereich der Mikrowellenplasma-Technologie."
Eingesetzt wird das an Philips Semiconductors verkaufte Plasmasystem für das Entfernen von Fotolackmasken" - bei der Chipfertigung der am häufigsten erforderliche Arbeitsschritt. Während bei herkömmlichen Verfahren jede Siliziumscheibe einzeln gereinigt wird, säubern TePla-Systeme bis zu 50 Scheiben gleichzeitig. Bei einfachem Handling können die Kosten so erheblich gesenkt werden.
"Unsere Technologieführerschaft werden wir auch in Zukunft weiter ausbauen", so Meyer, "die nächste Generation von Plasmasystemen für die Halbleiterindustrie präsentieren wir der Fachwelt im November auf der Productronica."
Kirchheim, 25. Oktober 1999
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