Vielleicht mal wieder was sachliches:
Hier ist Moly gefragt:
Göttinger Firma gestaltet die Zukunft der Halbleiterbranche
Göttingen (ddp.djn). Die mannshohen Anlagen aus blitzendem Stahl erinnern an einen Science-Fiction-Film.
Die Mitarbeiter der Göttinger Firma Xtreme technologies tragen Hauben und Mundschutz. Sie gestalten die Zukunft der Halbleiterbranche. Das Unternehmen entwickelt Laser, die ab 2009 bei der Herstellung der neuen Mikrochip-Generation Verwendung finden sollen. «Seit den 60er Jahren verdoppelt sich die Chipleistung alle zwei Jahre», sagt Geschäftsführer Uwe Stamm. Dazu sei es notwendig, immer mehr Schaltungen auf die Siliziumscheiben aufzubringen.
Heute arbeitet die Industrie mit Lasern, deren Licht eine Wellenlänge von 193 Nanometern, Milliardstel Metern, hat. Die Laser von Xtreme technologies erzeugen Extremultraviolettes Licht (EUV), dessen Wellenlänge nur 13,5 Nanometern beträgt. Damit lassen sich 32 Nanometer kleine Strukturen erzeugen. Zum Vergleich: Vier Atome haben die Ausdehnung von einem Nanometer. «Die Leistung der neuen Chips liegt im Vergleich zu den heute verwendeten um den Faktor 15 höher, eine Revolution», meint Physiker Stamm.
In den Anlagen von Xtreme technologies wird ein Hochvakuum erzeugt. Auf einen Tropfen flüssiges Zinn fällt ein Laser-Strahl. Das Metall geht in den Gaszustand über. In diesem Moment wird eine Spannung von 5000 Volt angelegt. Für einen Zeitraum von 100 Nanosekunden lassen sich Spitzenströme von 60 000 Ampere erzeugen. Die Temperatur steigt auf 220 000 Grad Celsius. Das Zinn geht in den vierten Aggregatzustand über, wird Plasma. Die Elektronen lösen sich vom Atomkern. EUV-Licht strahlt ab. Anstelle von Zinn setzen die Göttinger auch das Edelgas Xenon ein.
Das EUV-Licht wird mit Spezialspiegeln, deren Oberflächen sich aus 40 bis 60 Doppelschichten Silicium und Molybdän zusammensetzen, über eine Maske auf die Siliciumscheiben gelenkt. Diese sind mit einer lichtempfindlichen Schicht überzogen. Belichtete Strukturen bleiben bestehen. Bis zu 20 Mal hintereinander wird ein Chip beschichtet und belichtet. Letzteres muss im Hochvakuum stattfinden, da Luft die Strahlung verschluckt.
«Neben uns gibt es weltweit nur vier Unternehmen, die solche EUV-Quellen herstellen», berichtet Stamm. Nur sie und eine andere deutsche Firma hätten bereits Laser verkauft. Mittelfristig könnten nur zwei Firmen am Markt bestehen. Der japanische Mitbewerber Ushio, ein hochspezialisierter Hersteller von Lichtquellen mit einer Milliarde Euro Umsatz 2005, hat bereits den Plan einer eigenen Fertigung aufgegeben. Stattdessen kaufte er sich im vergangenen Jahr bei den Göttingern ein.
Das Bundeswissenschaftsministerium hält die neue Technologie für zukunftsentscheidend. Für den Zeitraum von 2001 bis 2008 sind Fördergelder in Höhe von 50 Millionen Euro vorgesehen. Sieben Millionen Euro davon erhält Xtreme technologies. Weitere 2,5 Millionen Euro bekommt das Unternehmen von der Europäischen Union. Die Göttinger liefern ihre Laser an Firmen, die sie in so genannte Mikrostepper integrieren. Mit ihnen werden dann die Computerchips hergestellt.
Die erste kommerzielle Versuchsanlage der Welt nahm vor zwei Jahren der Chiphersteller Intel im amerikanischen Oregon in Betrieb: mit Xtreme technologies inside. Derzeit liefern die Göttinger ihre neunte EUV-Quelle aus. Die Zukunft beginnt.
ddp.djn/mca/hwa
- das evtl. Sperren dieses Users löst schwere Depressionen bei der Blue Pearl Mannschaft aus -
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